Werth Messtechnik GmbH

Multisensor-Tomografie mit Mikro- und Submikrofokusröhre

Ein Zwei-Röhren-Messsystem ermöglicht zur Lösung unterschiedlichster Messaufgaben beispielsweise die Kombination einer hochauflösenden Submikrofokusröhre und einer Hochspannungs-Mikrofokusröhre in einem Werth TomoScope® Koordinatenmesssystem. Die 300-kV-Mikrofokusröhre erlaubt die Messung großer oder dichter Werkstücke aus Kunststoffen oder Metallen mit Auflösungen im Bereich weniger Mikrometer. Die Submikrofokusröhre verfügt über eine maximale Spannung von 160 kV und bis zu 50 W Leistung. Durch eine zusätzliche Fokussiereinheit erreicht sie eine kleinste Brennfleckgröße von 0,5 μm, um z. B. Faserverläufe zu prüfen oder feine Risse zu detektieren.

Unterschiedliche Auflösungen in Durchstrahlungsbild und Volumen

Als Kenngröße eines CT-Geräts wird häufig die Auflösung im Durchstrahlungsbild angegeben, die meist nicht der Auflösung im Volumen entspricht, oder nur eine Voxelgröße angegeben, die rechnerisch nahezu beliebig klein gewählt werden kann. Beides ist kein Maß dafür, welche Strukturgröße tatsächlich aufgelöst wird. Mit der Werth-Submikrofokusröhre beträgt die Auflösung im Durchstrahlungsbild 0,5 μm.

Die effektive Auflösung eines CT-Koordinatenmessgeräts resultiert hauptsächlich aus der kombinierten Wirkung (Faltung) der Auflösungsfunktionen von Brennfleck, Drehachse und Detektor unter Berücksichtigung der Vergrößerung. Die Volumenstrukturauflösung des Zwei-Röhren-Messsystems mit Submikrofokusröhre beträgt ca. 1 μm.

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